Nitrogeno trifluoruroa (NF3) purutasun handiko gasa
Oinarrizko informazioa
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Zein da material hau?
Nitrogeno trifluoruroa (NF3) kolorerik eta usainik gabeko gasa da giro-tenperaturan eta presio atmosferikoan. Presio moderatuan likidotu daiteke. NF3 egonkorra da baldintza normaletan eta ez da erraz deskonposatzen. Dena den, deskonposatu daiteke tenperatura altuetan edo zenbait katalizatzaileren aurrean. NF3-k berotze globalaren potentzial handia du (GWP) atmosferara askatzen denean.
Non erabili material hau?
Elektronika-industrian garbiketa-agentea: NF3 oso erabilia da erdieroaleen, plasma-panelen (PDP) eta beste osagai elektronikoen gainazaletatik hondar kutsatzaileak kentzeko, hala nola oxidoak, garbiketa-agente gisa. Gainazal hauek modu eraginkorrean garbitu ditzake kaltetu gabe.
Agrabatzeko gasa erdieroaleen fabrikazioan: NF3 grabaketa-gas gisa erabiltzen da erdieroaleen fabrikazio-prozesuan. Zirkuitu integratuen fabrikazioan ohiko materialak diren silizio dioxidoa (SiO2) eta silizio nitruroa (Si3N4) grabatzeko bereziki eraginkorra da.
Garbitasun handiko fluor-konposatuen ekoizpena: NF3 fluor-iturri baliotsua da fluorra duten hainbat konposatu ekoizteko. Fluoropolimeroen, fluorokarburoen eta produktu kimiko berezien ekoizpenean aitzindari gisa erabiltzen da.
Plasma sortzea pantaila lauko pantailaren fabrikazioan: NF3 beste gasekin batera erabiltzen da plasma sortzeko pantaila lauen ekoizpenean, hala nola kristal likidoen pantailak (LCD) eta PDPak. Plasma ezinbestekoa da jalkitze- eta grabatze-prozesuetan panelen fabrikazioan.
Kontuan izan material/produktu hau erabiltzeko aplikazio eta arau zehatzak herrialde, industria eta xedearen arabera alda daitezkeela. Beti beti segurtasun-jarraibideak eta kontsultatu aditu bati material/produktu hau edozein aplikaziotan erabili aurretik.
